第266章 制程路线之争 (上)
洋经济之所以失落长达二十年之久,林本坚博士绝对功不可没。
除了憋屈死掉的15euvllc也是梁远偷渡之前人类技术上限中最有可能投入到大规模商业应用中的光源,这个阵营包括英特尔、aicron等。
1nitsubishi,、nec、toshiba,、ntt、ib、摩托罗拉,这也是一个被林本坚博士击沉的阵营,由于实验室向来比产业界前沿的缘故,这个阵营起始于八十年末期,采用接近式曝光方式生产,原计划可以作为157光源之后的后补技术登场,到了新世纪虽然没有尼康那般倒霉刚好产品成熟,不过美日两国也各自在这个方向上投入了数十亿美元的巨资,还未问世就已经凉凉也不知道是幸还是不幸。
0004n、佳能、尼康,asl被邀请加入后又率先退出,这个阵营的学名叫做电子束直写技术,是所有光刻技术阵营中看起来最吊也最浪漫的那个,同样也是光刻技术的物理极限,更是方伟林的主要来意。
尼康在被asl击败之后,曾押宝电子束直写技术拼死一搏,可惜这玩意的研发难度堪称电子行业的可控核聚变,直到梁远偷渡那一刻也没听到入坑十年的尼康搞出什么大新闻。
一般来说,科技的前沿以大
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