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第274章 分子级别超纯水

低。
    第二种叫浴缸法,这个方法和梁远刚刚说的灵感类似,就是把整片晶圆都丢在水里,装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工神作书吧台移动。
    这种方法的好处是工程上的技术难度较低,不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响,不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动,必须研制全新的能在水中工神作书吧的光刻胶,必须对晶圆工神作书吧台加以改进,而且由于晶圆工神作书吧台上增加了水的重量,晶圆生产线的生产节拍也会随之改变,相比喷淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。
    第三种叫泳池法,就是把整个光刻程序都丢进水里来完成,这种方法虽然能最大化的减少线宽,不过在水中操神作书吧相当于重新研发一套晶圆生产体系,无论工程难度还是经济成本都双双过高。
    新世纪之后,浸入式光刻机的国际主流路线采用了喷淋法,不过以港基集电目前的实力来说,第二种浴缸法才是最合适的,新世纪之后尼康和艾斯摩尔之所以选了喷淋法路线,一个是两家精密加工和精密控制的水准高没门槛,另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩家卖的,当然是升级成本越低升级方式越简单越好。更新最快电脑端::
    九十年代初,
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