第四百一十二章:悲催的小岛国
3%。
这也导致了它对于光感程度非常敏感, 当入射光的强度超过某一临界值时, 石墨烯对其的吸收会达到饱和。
因此石墨烯晶圆虽然同样是用光刻机加工,但曝光过程和碳基芯片有所不同。
......
化学实验室中,韩元从储物间中翻出来了之前制备五十纳米级集成芯片使用的光刻胶以及配置光刻胶对应的材料。
其中感光树脂就有三种,这是他之前用来配置混合型感光树脂用的。
相比较单一的感光树脂,混合型的感光树脂在性能上更加优异,制备出来的光刻胶在精度上更高,可以用来蚀刻低纳米级的芯片。
当初韩元想着的是调配精度高一点的光刻胶让华国也能自己生产,现在倒好,方便了他自己。
这三种感光树脂重新按照不同的比例调配一下,制备出来复形感光树脂就可以适用于碳基芯片了。
他现在要制备负性光刻胶,实际上只有增感剂和溶剂组这两种材料。
不过说是两种,其实却都是复合材料。
其中增感剂是有两种不同的光敏引发剂混合构成的,而溶剂组就更不用说了,从名字就知道,它的组成材料是多种。
比如其中一部分是适用于除胶的除
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