体，最终削减光束的直径，从而达到最终是28纳米，甚至是更低的直径。
    现在目前台基电基本上已经完全的掌握了5纳米的光刻机生产工艺，并且开始向3纳米的制程工艺进发。
    而这一次系统奖励的光刻机的技术基本上是和目前的阿斯麦所生产的光刻机完全不同的产物。
    完完全全是经过精密的仪器计算，生产出能够直射出5纳米光束的光刻机。
    这种生产出来的光刻机，最终在投入生产之后，做生产的成本要相较于浸润式光刻机要低了许多。
    毕竟浸润式光刻机需要耗费大量的水资源，同时由于光折射了水产生了大量的能量，这需要通风散热来保持产房的温度。
    而眼下所奖励的这种生产的光刻机模式，显然在生产成本方面要低于目前的浸润式光刻机，但是制造的难度和仪器的精密程度要远远的高出浸润式光刻机。
    甚至看着眼前所奖励的制造工艺技术，黄达也为之而感到痴迷。
    不过黄达看着眼前的技术，虽然说感觉到非常的香，但是他的心中却根本生起了一种无力感。
    毕竟眼前这项技术虽然说不错，但是生产的元器件材料以及生产的零件，都需要耗费大量的精力去研发，这对于生产
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