第六十五章 从修路开始
也只是单纯地按照你的构思去做了,实际好不好用不知道,能给我简单讲讲吗?”
所谓的同步,其实指的是光刻机内部两个工作台的同步,这两个工作台必须始终以相同的速度运动,误差要控制在2nm之内,而进入到亚纳米级别的蚀刻时,同步率更是要求达到百分之一纳米以下。
叶舟从模拟器中提取到的思路是,改变传统中双工作台的模式,改用六个精密陀螺仪来实现六云台同步,每个云台只负责单向运动,避免往复过程中的停顿所产生的极微小误差。
但是,要做到这一点,就要求每个云台间的协作极为精密,针对每一个云台都要设置独立控制代码,而六套控制代码又需要相互关联,对算法的要求极高。
好在叶舟在吸收EDA的相关知识后,对算法的理解已经达到了一定深度,这时便挑了设计中的几个重点给王芹生讲清楚,听得他连连点头。
“说实话,我其实没怎么听懂,在算法这一块我实在是太外行了,不过按你的解释,理论上应该是走得通的,我们且试试看。”
“对,今天的主题不是这个,我们要讨论的主要还是快速建厂投产的问题。来,小陈,你组织会议吧。”
听到王芹生的话,陈昊点了点头,打开会议室正中间的
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