询价，他的这个念头就被打消掉了。

    1K级的无尘室用的设备国内目前还提供不了，全套建设、施工和设备以及耗材都要从国外进口。建筑成本，一平米就要10万人民币。如果要建设一个100平米的实验室，光建设成本就超过了1000万人民币的造价，这还没算上实验设备。想建的小一点，单位成本就要剧增，因为100平米用的空调系统已经是最小的了。实验室规模再小，反而更加不经济。

    不仅建设成本贵，建起来还不算完。这样一个实验室的维护成本，一个月还要10万人民币。

    里外里算了半天帐，王中阳最终也没下了这个决心。

    “王总这边请。”周硕安静的灯王中阳参观过了无尘室，然后站到了实验室的中央。这里有一个大概三米长、两米宽的设备，看起来应该是中科院微电子研究中心出品的0.8微米工艺光刻机。

    只不过如今这台光刻机很多地方，已经显得和它原始的样子有些面目全非了。

    最明显的地方，应该是它的工作台。原来用于光刻200mm单晶硅晶圆的工作台，现在已经被加大了数倍面积。由此带动的传动、对准等子系统的改进，可以说和重新设计一套光刻机系统也没什么区别了。
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