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第四百一十一章:适用于碳基芯片的光刻胶

两者的性质不同,对其进行曝光处理,需要的光刻胶自然不同。
    光刻胶这东西,在硅基芯片上大体分两种类型。
    一正一负两大类。
    正性类型的光刻胶在涂抹到晶圆上,经过曝光、显影处理后,曝光的区域被溶解,未曝光部分留下来,这就是正性类型光刻胶。
    反之,则是负性类型光刻胶。
    硅基芯片是这样的,但碳基芯片不是。
    碳和硅,就单质性质来说,碳的稳定性是要大于硅的。
    而在两者的半导体材料这一样,石墨烯晶圆的稳定性同样要大于单晶硅晶圆。
    所以真正高精度的碳基光刻胶只有一种,那就是负性光刻胶。
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