第四百一十一章:适用于碳基芯片的光刻胶
联系他。
处理好零部件的加工程序后,韩元短暂的休息了一下,然后再度来到了化学实验室。
之前在这边是制造碳纳米管、石墨烯单晶材料,现在则是制造适用于碳基芯片的光刻胶。
光刻胶这种东西,在硅基芯片的制造过程中是离不开的,其重要性自然不言而喻。
用于硅基芯片的光刻胶,主要是由成膜树脂、光引发剂、溶剂组成的,有些可能还包含有抗氧化剂,均匀剂和增粘剂等辅助成分。
在硅基芯片进行表面加工时,采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。
这是如何将掩膜版上的电路图转移到晶圆上的关键点之一,重要性堪比光刻机。
一块芯片的精度,其实不仅受光刻机手术刀光波长的影响,同样受光刻胶精度的制约。
如果光刻胶精度不够,即便是光波波长够了,也是加工不出来的。
所以光刻胶对于整个芯片行业来说,都有着至关重要的作用。
......
顶级的碳基芯片和硅基芯片一样,使用光刻机进加工制备,那么自然同样需要一种针对性的光刻胶来进行蚀刻处理。
而石墨烯晶圆和单晶硅晶圆,这两种材料虽然都是半导体,但因为
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