第四百一十七章:碳基芯片的离子掺杂
杂。
原因有两个。
第一个是银离子在通过离子注入手段渗入到石墨烯单晶晶圆里面后, 会掺杂在碳晶格里面, 进而提升搀杂区的导电方式。
就如硅基芯片中进行掺杂磷、硼这些离子一样。
原理一样, 只不过的是, 石墨烯单晶材料的性质和单晶硅晶圆的性质完全不同。
第二个也是更重要一个是,单质银离子在通过离子注入机注入到石墨烯单晶材料里面后,通过特定的条件,会形成碳化银离子。
在正常情况下,银是不会和碳反应的,即便是反应了,也会生成银化碳,化学表达式为ag2c2。
也就是说碳原子和银原子并不是直接结合的,或者说,此时这两种元素甚至都没有以标准的原子形式存在,更接近于一种离子化合物。
这种银碳形成的离子化合物,除了用来制造银碳复合材料水溶液制备电化学电容外,并没有太大的用途。
除了ag2c2(碳化银)外,还有一种碳纳米管—银复合纳米材料,但那并不是发化合物,甚至都不是离子化合结构,仅仅是人工加工出来的物品,对于石墨烯单晶晶圆的加工并没有什么意义。
这次韩元使用银离子来给石墨烯单晶晶圆进行离子掺杂
<本章未完请点击"下一页"继续观看!>